研究所将推进X射线计量技术，开发新型计量方法，并通过初步三年的合作培养下一代研究人员，后续有可能依据成果进行延长。随着半导体的尺寸越来越小，层数不断增加，材料种类愈发多样，制造工艺变得日益复杂。X射线计量技术对于高精度、非破坏性分析而言至关重要，这对于支持稳定的大规模生产是必须的，然而传统技术在微观结构评估和准确结构分析等领域已经达到了极限。解决这些挑战需要新的计量技术，包括软X射线（相较于传统X射线具有更长波长和更低能量的X射线），以及与同步辐射设施合作建立的更强能力。此外，培养能够系统性理解先进X射线计量并在工业和研究中应用的专业人才变得愈加重要。为了应对这两项技术与人力资源挑战，东北大学，作为下一代同步辐射设施NanoTerasu的所在地和信息科学的领导者，理学公司凭借其在X射线计量方面的专业知识和良好业绩，建立了一所新研究所。研究所在“超越极限”的旗帜下，致力于这些目标。